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  技術(shù)文章

對(duì)潔凈室空氣潔凈度提出四大新要求

發(fā)布時(shí)間:2017-06-29 閱讀:0

  以“創(chuàng)新綠色發(fā)展·激發(fā)市場(chǎng)活力”為主題的“2015中國(guó)國(guó)際潔凈技術(shù)與設(shè)備展覽會(huì)”將于2015年8月18日-20日在廣州·中國(guó)進(jìn)出口商品交易會(huì)展館隆重舉辦。預(yù)計(jì)展覽面積達(dá)一萬余平方米,參展商更是超過300家。屆時(shí)將展示當(dāng)今國(guó)際領(lǐng)先的潔凈技術(shù)、頂尖的技術(shù)支持以及尖端的產(chǎn)品設(shè)備,以滿足全球消費(fèi)以及新興材料和技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)提出的新要求。眾所周知,潔凈室環(huán)境的控制與空氣的潔凈度有密切關(guān)系,下面就來看看潔凈室對(duì)空氣潔凈度的要求。

  隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對(duì)實(shí)驗(yàn)、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高,因而調(diào)節(jié)空氣品質(zhì)的技術(shù)——空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴(kuò)大?,F(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含調(diào)節(jié)空氣的溫度、濕度和速度的概念,而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以及成分、氣味的概念。

  現(xiàn)代化的科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)對(duì)空氣潔凈度的要求是從下述四方面提出來的:

  1、加工的精密化。

  現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進(jìn)入亞微米量級(jí),而且正在向更小的量級(jí)發(fā)展:利用分子束外延技術(shù)已可按一個(gè)一個(gè)原子層來生長(zhǎng)單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行一個(gè)一個(gè)原子的刻蝕剝離等等。因此,科學(xué)界提出了在本世紀(jì)末可能進(jìn)行原子級(jí)加工的設(shè)想,即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個(gè)原子的線度。

  2、產(chǎn)品的微型化。

  原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,現(xiàn)在縮減到零點(diǎn)幾立方厘米,其中:集成電鍍的圖形距已小到不足1um,一個(gè)電子元件的二氧化硅保護(hù)膜厚0.5um,光致抗蝕劑厚度只有0.2um,而各層甚至只有0.03um。

  3、產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)。

  由過去認(rèn)為很純的“化學(xué)純”進(jìn)入今天“電子純”、“超純”時(shí)代的藥品、試劑,以及各種超純材料,都是在高純度基礎(chǔ)上才能使原料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。

  4、產(chǎn)品的高可靠性。

  高可靠性對(duì)于電子化、自動(dòng)化時(shí)代的產(chǎn)品,對(duì)于確保人的安全的無菌操作,對(duì)于分子生物學(xué)的遺傳工程都有特殊重要的意義。

  顯然,在上述四種情況下,如果有微粒進(jìn)入產(chǎn)品,這種微粒就可能構(gòu)成障礙、短路、雜質(zhì)源和潛在缺陷。上述四種要求越高,則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少,也就是潔凈程度越高。因此,潔凈技術(shù)已成為科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)現(xiàn)代化的標(biāo)志之一。同時(shí)也是保證精密產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。


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